Mobiles Lastengefährt für die Halbleiterindustrie
Komfortabler Transport
von Prüfadaptern
In der Halbleiterindustrie verändern sich die Größenverhältnisse: Während Microchips nach wie vor immer kleiner werden, wurde die Kapazität der Prüfadapter, so genannter Probe-Cards, in den letzten Jahren so erweitert, dass sie mittlerweile das Format und Gewicht eines Schachtdeckels erreichen. Mit einem mobilen Gestell und einem Greifer auf robusten Schienen lassen sich die Prüfkomponenten dennoch einfach sowie flexibel handhaben. 
Die Firma Turbodynamics Technologies ist auf Lösungen für die Halbleiterindustrie spezialisiert, die eine hochgenaue Positionierung und den schnellen Austausch von Leiterplatten ermöglichen. „In der Branche sind wir vor allem für unsere Positioniersysteme und deren Klemmzugsystem bekannt“, so Produktmanager Bernd Niess. Durch diese Eigenschaft halten die Dockings zuverlässig sehr hohen Zugkräften stand.
Probe-Cards fahren statt tragen
Eine neue Lösung von Turbodynamics ist der sogenannte Trolleypullator, ein mobiles Lastengestell für Probe-Cards. „Bei Probe-Cards handelt es sich um die Schnittstelle zwischen einem elektronischen Testsystem und den Wafern selbst“, erklärt Niess. In der Vergangenheit wurden die Prüfadapter vom Bediener im Hochregal abgeholt, zum Einsatzort getragen und manuell in der Mitte einer Prüfanlage platziert. Allerdings sind sie dafür mittlerweile zu groß und schwer. Zudem sind Transportschäden nicht tolerierbar, denn die Anschaffungskosten von Probe-Cards liegen im sechsstelligen Bereich. Es muss also ein sicheres und gleichzeitig komfortables Handling gewährleistet sein. Dafür hat Turbodynamics ein halbautomatisches Gefährt entwickelt: Das mobile Gestell auf Rädern ist am oberen Ende mit einem höhenverstellbaren Auszug versehen. Am Ende dieses Auszuges ist ein Greifer montiert; mit seiner Hilfe lässt sich die Probe-Card aufnehmen und für die Dauer des Transportes sicher verriegeln. Bei der Entwicklung des Trolleypullators ergaben sich einige Herausforderungen bezüglich des Kippmoments, der Leichtgängigkeit und auch der Bedienerführung. Es galt, einige potenziell gefährliche Anwendungsfehler von vornherein auszuschließen. „So muss die Probe-Card erst auf einer Unterlage zum liegen kommen, bevor die Verriegelung gelöst werden kann“, schildert Niess. „Außerdem darf das Obergestell und somit die Probe-Card nur bei vollem Auszug abgesenkt werden, um Schäden zu vermeiden“. Entsprechend ist der Auszug ein elementarer Bestandteil des mobilen Gerätes und muss zuverlässig funktionieren.
Ruhiger Lauf auch bei hohen Traglasten
Die Wahl in Punkto Lineartechnik fiel schließlich auf eine doppelte Teleskopschiene der Baureihe DSD 28-0530 NIC von Rollon. Sie kann in beide Richtungen verfahren und bietet eine hohe Tragzahl sowie einen ruhigen und präzisen Lauf. Der Vollauszug besteht aus zwei Führungsschienen als festes und bewegliches Element und einem S-förmigen Zwischenelement. Dieses hat ein hohes Flächenträgheitsmoment und eine hohe Steifigkeit bei schlanker Bauweise. Hieraus resultiert eine hohe Belastbarkeit mit geringer Durchbiegung im ausgefahrenen Zustand. Insgesamt umfasst die Produktfamilie Telescopic Rail acht Baureihen. Die Voll- und Teilauszüge sind mit unterschiedlichen Querschnitten und Zwischenelementen erhältlich. Die Baureihe DS ist in drei verschiedenen Ausführungen verfügbar: als Version S mit einseitigem Auszug (DSS), als Version B mit Verriegelung im eingefahrenen Zustand für einseitige Auszüge (DSB) und als Version D mit beidseitigem Auszug (DSD). Für den Einsatz im Trolleypullator wurden die Schienen an die besonderen Gegebenheiten angepasst, denn die Halbleiterfertigung erfolgt im Reinraum. Entsprechend lieferte Rollon die Teleskopschienen mit einer vernickelten Oberfläche und einem besonderen Schmierfett. Zudem wurde gemäß der Vorgaben von Turbodynamics eine individuelle Anschlagsbegrenzung realisiert.
